박막 장비 공급 업체로서 많은 고객이 제품의 설치 및 시운전 프로세스에 관심이 있다는 것을 이해합니다. 이 블로그에서는 이러한 프로세스에 대한 자세한 정보를 공유하여 박막 장비를 작업에 통합하는 방법을 더 잘 이해하는 데 도움이됩니다.
사전 - 설치 준비
박막 장비를 실제 설치하기 전에 몇 가지 중요한 사전 설치 준비가 수행되어야합니다. 무엇보다도 적절한 설치 사이트를 선택해야합니다. 이 사이트에는 적절한 환기 및 온도 제어 시스템뿐만 아니라 장비의 무게를 지원하기위한 안정적인 기초가 있어야합니다. 박막 장비는 종종 작동 중에 열을 발생 시키며 적절한 환기는이 열을 소비하는 데 도움이되므로 과열 및 장비의 잠재적 손상을 방지합니다. 온도 제어 환경은 또한 장비 내에서 발생하는 프로세스의 안정성을 보장합니다.
또한 전기 및 가스 연결은 중요한 준비입니다. 박막 장비에는 안정적인 전원 공급 장치가 필요합니다. 설치 현장의 전기 시스템은 장비 매뉴얼에 지정된 전력 요구 사항을 충족해야합니다. 예를 들어, 우리 중 일부물리 증기 증착 (PVD) 박막 장비특정 주파수 및 위상 요구 사항이있는 높은 전압 전원이 필요할 수 있습니다. 가스 연결은 특히 얇은 필름 증착 공정 동안 반응성 가스를 사용하는 장비의 경우에도 마찬가지로 중요합니다. 가스 파이프 라인은 가스 누출 및 부식을 방지하기 위해 적절한 재료로 만들어야합니다.
또한 기술 지원 팀과의 명확한 커뮤니케이션 채널을 갖추어야합니다. 평면도, 천장 높이 및 사용 가능한 유틸리티 연결과 같은 설치 사이트에 대한 자세한 정보를 미리 제공해야합니다. 그런 다음 우리 팀은이 정보를 사용하여 장비를 조정하고 사이트 설치 지침을 제공 할 수 있습니다.
설치 프로세스
박막 장비의 설치는 신중하게 계획되고 실행되는 프로세스입니다. 설치 사이트가 준비되면 전문 설치 팀이 위치에 도착합니다. 첫 번째 단계는 장비를 풀고 운송 중에 발생한 손상을 신중하게 확인하는 것입니다.
우리가 가져 가면마그네트론 스퍼터링 박막 장비예를 들어, 설치 프로세스에는 몇 가지 주요 단계가 포함됩니다. 얇은 필름 증착의 핵심 부분 인 장비의 주요 챔버를 먼저 설치해야합니다. 안정성을 보장하기 위해 사전 결정된 기초에 정확하게 배치되어야합니다. 그런 다음, 마그네트론 스퍼터링 소스가 챔버 내에 정확하게 설치되어 정렬됩니다. 이들 소스는 기판에 박막을 형성하는 원자를 배출하는 것을 담당한다.
다음으로 가스 분포 시스템, 펌핑 시스템 및 난방 시스템과 같은 보조 구성 요소가 연결되어 있습니다. 가스 분포 시스템은 챔버로의 반응성 및 불활성 가스의 균일 한 공급을 보장합니다. 펌핑 시스템은 챔버 내부에 높은 진공 환경을 만드는 데 사용되며, 이는 고품질의 얇은 필름 증착에 필수적입니다. 가열 시스템은 공정 동안 기판의 온도를 제어하여 증착 된 박막의 특성에 영향을 미칩니다.
설치 프로세스 전체에서 엄격한 품질 관리 조치가 구현됩니다. 설치 팀은 고급 측정 도구를 사용하여 구성 요소 설치 및 정렬의 정확성을 보장합니다. 각 주요 구성 요소를 설치 한 후에는 느슨한 연결 또는 잠재적 안전 위험을 확인하기 위해 예비 검사를 수행합니다.
시운전 프로세스
설치가 완료되면 시운전 프로세스가 시작됩니다. 시운전 단계는 장비가 올바르게 작동하고 원하는 성능을 달성하는지 확인하는 데 중요합니다.
시운전의 첫 번째 단계는 진공 테스트를 수행하는 것입니다. 이것은 높은 진공 조건에서 작동하는 박막 장비에 특히 중요합니다. 펌핑 시스템이 활성화되고 챔버 내부의 압력을 모니터링하여 필요한 진공 수준에 도달 할 수 있습니다. 예를 들어, 일부 높은 정밀 얇은 필름 공정은 10^(-6) PA 미만의 진공 수준을 필요로 할 수 있습니다. 진공 수준을 달성 할 수없는 경우 기술자는 챔버에서 누출 가능성과 연결이 있는지 확인합니다.
진공 테스트 후, 가스 흐름 및 제어 시스템이 보정됩니다. 다른 얇은 필름 증착 공정은 가스 유량 및 비율의 정확한 제어가 필요합니다. 을 위한혈장 강화 된 박막 장비, 플라즈마 생성 시스템도 테스트 및 보정됩니다. 여기에는 밀도 및 에너지 분포와 같은 플라즈마 특성을 최적화하기 위해 전력 입력, 가스 조성 및 전극 구성을 조정하는 것이 포함됩니다.
기본 시스템 매개 변수가 설정되면 증착 프로세스는 테스트 기판에서 실행됩니다. 증착 된 박막의 두께, 조성 및 품질은 분광 엘립 좀 측정 및 X -Ray 광전자 분광법과 같은 특수 장비를 사용하여 분석됩니다. 이러한 분석은 장비의 성능과 얇은 필름 제품의 품질에 대한 귀중한 정보를 제공 할 수 있습니다.
최초의 시운전 실행 중에 기술 전문가는 장비 작동과 얇은 필름 품질을 면밀히 모니터링합니다. 최상의 결과를 얻기 위해 전력, 가스 흐름 및 증착 시간과 같은 프로세스 매개 변수를 필요한 조정을 수행합니다. 이 반복 프로세스는 장비가 모든 성능 요구 사항을 충족 할 때까지 여러 번 시도 할 수 있습니다.
포스트 - 시운전 서비스
성공적인 시운전 후, 우리의 지원은 거기서 끝나지 않습니다. 우리는 박막 장비의 장기적인 신뢰성과 성능을 보장하기 위해 포괄적 인 게시물 커미셔닝 서비스 패키지를 제공합니다.
우리의 기술자들은 장비의 적절한 사용 및 유지 보수에 대해 운영자를 훈련시킬 것입니다. 여기에는 장비를 안전하게 시작하고 중지하는 방법, 프로세스 레시피 변경 방법 및 챔버 청소 및 소비 가능한 부품 교체와 같은 일상적인 유지 보수 작업을 수행하는 방법이 포함됩니다.
또한 정기적 인 장비 검사 및 업데이트를 제공합니다. 우리 팀은 정기적으로 사이트를 방문하여 장비 조건을 확인하고 예방 유지 보수를 수행하며 소프트웨어 또는 하드웨어 업데이트를 설치합니다. 이러한 업데이트는 시간이 지남에 따라 장비의 기능과 성능을 향상시킬 수 있습니다.
우리는 또한 24/7 기술 지원 핫라인을 제공합니다. 운영 중에 장비에 문제가 발생하면 전문가는 전화 나 원격으로 모니터링 시스템을 통해 즉각적인 지침과 솔루션을 제공 할 수 있습니다. 보다 심각한 문제가 발생하면 서비스 팀을 가능한 빨리 귀하의 사이트로 파견 할 수 있습니다.
박막 장비를 선택하는 이유는 무엇입니까?
박막 장비는 최신 기술과 고품질 재료로 설계되었습니다. 우리는 최고의 제품 및 서비스를 제공하기 위해 전념하는 숙련 된 엔지니어 및 기술자 팀이 있습니다. 우리의 설치 및 시운전 프로세스는 가장 높은 수준의 전문성과 세부 사항에 대한 관심으로 수행되므로 장비를 최대한 활용할 수 있습니다.
박막 장비에 관심이 있고 잠재적 인 조달에 대해 논의하고 싶다면 언제든지 연락을 취하십시오. 우리는 당신과 깊이 조달 대화를하고 질문에 답변하고 특정 요구에 따라 맞춤형 솔루션을 제공 할 의향이 있습니다.
참조
- 박막 증착 기술 핸드북
- 박막 장비 설계 및 제조 저널의 최근 발전
