진공 코팅 기술은 물리 증기 증착 (PVD)과 화학 증기 증착 (CVD)의 두 가지 주요 유형으로 나눌 수 있습니다. 코팅의 형성 과정은 다음과 같이이 두 가지 유형 사이에서 다릅니다.
물리 증기 증착 (PVD) :
· 코팅 재료의 증발 : 증발 코팅을 예로 들어, 코팅 재료는 저항, 전자 빔, 레이저 등을 통해 가열됩니다. 온도가 충분히 높은 수준에 도달하면 코팅 재료는 고체에서 가상 원자 또는 분자로 전이됩니다. 예를 들어, 전자 빔 증발 코팅에서, 전자 빔은 코팅 재료를 폭격하여 빠르게 가열하고 기화시킨다.
· 입자 이동 : 기체 코팅 재료 원자 또는 분자는 증발 공급원에서 기질 표면으로 이동합니다. 진공 상태에서, 그들은 다른 입자와의 충돌이 거의없는 거의 직선으로 움직입니다. 이온 플레이트에서, 코팅 물질은 이온화되고 전기장의 영향 하에서 기질 표면으로 가속된다.
· 필름 증착 : 기질 표면에 도달하면 기체 입자 중 일부는 반사되는 반면 다른 입자는 흡착된다. 흡착 된 입자는 표면에 확산됩니다. 응집 된 입자의 수가 특정 임계 값을 초과하면 안정적인 핵을 형성합니다. 이 안정적인 핵은 계속해서 흡착되고 확산되는 입자를 계속하여 점차 커지고 있습니다. 인접한 핵이 접촉하여 병합되어 결국 연속 코팅을 형성합니다.
화학 기상 증착 (CVD)
· 가스 전달 : 코팅 재료 또는 반응성 가스의 원소를 함유하는 기체 화합물은 캐리어 가스를 통해 반응 챔버로 전달됩니다. 이들 가스는 진공 환경에서 기질 주위에 균일하게 분포된다.
· 화학 반응 : 특정 온도, 압력 및 기타 조건 하에서 기체 반응물은 분해, 조합, 감소 등과 같은 기판 표면에 화학 반응을 겪습니다. 예를 들어, 지연 질화물 코팅을 준비 할 때, 티타늄 할라이드 및 암모니아는 전형적으로 고온에서 반응하여 고온에서 반응하여 티타늄 질화물을 형성합니다.
· 필름 증착 : 기판 표면상의 화학 반응 침착에 의해 생성 된 고체 생성물. 반응이 계속됨에 따라, 증착 된 물질이 증가하고 코팅은 점차 더 두껍다.
