장비 설명:

· 장비 소개:

마그네트론 스퍼터링 코팅기는 자기장과 이온 상호 작용을 사용하여 박막을 준비하는 물리적 기상 증착 기술입니다. 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 회사의 검증된 핵심 기술인 이온빔 클리닝 + 마그네트론 스퍼터링 소스를 사용합니다. 진공 챔버 내 환경은 진공 청소를 통해 고진공 상태에 도달합니다. 그런 다음 글로우 방전 또는 무선 주파수 방사선을 통해 대상 표면이 활성화되어 작동 가스 원자 또는 분자를 이온화하고 플라즈마를 형성합니다. 그런 다음 자기장을 가하면 이온이 자기장에 의해 제어되어 표적 표면에 부딪힐 확률이 높아집니다. 이온빔은 타겟 표면과 충돌하여 타겟 위의 원자나 분자가 더 빠른 속도로 기판 표면에 스퍼터링 및 증착되어 필름을 형성하게 됩니다. 이온빔의 에너지를 조절할 수 있으며, 이온빔 에너지와 밀도를 조절하여 막의 구조와 성질을 변화시킬 수 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 완전 자동 제어, 모듈 통합 최적화, 고출력, 우수한 안정성, 간단한 작동 및 쉬운 유지 관리를 채택합니다. 마그네트론 스퍼터링 기계는 코팅 개발 및 배치 코팅 서비스에 적합합니다.

· 장비 장점:

표현 빠른 증착 속도;

표현 낮은 기판 온도 상승;

표현하다 멤브레인 층의 손상은 작습니다.

우수한 막 결합을 표현합니다.

높은 필름 순도, 우수한 밀도, 우수한 필름 균일성을 표현합니다.

표현 좋은 반복성;

다양한 재료에 적합합니다.

표현 산업화 실현이 용이함;

표현하다 필름 층의 구성은 표적 물질의 구성과 가깝습니다.

표현하다 필름 코팅이 좋다;

표현하다 네거티브 바이어스가 공작물에 적용됩니다.