제품개요
산업용 음극 아크 증발 시스템은 내마모성, 내식성-, 저마찰 하드 코팅을 증착하기 위해 설계된 생산-등급 물리 기상 증착(PVD) 플랫폼입니다. 낮은-전압, 높은-전류 전기 아크를 사용함으로써 고체 음극 타겟이 음극 지점에서 즉시 기화 및 이온화되어 고도로 이온화된 금속 플라즈마를 생성합니다.
ISO 9001 품질 관리 표준 및 CE 규정 준수 지침에 따라 설계 및 제조된 이 시스템은 도구 제조, 자동차 부품, 산업용 하드웨어 분야의 처리량이 높은 코팅 작업용으로 구성되었습니다.{1}} 표준 구성은 다중 -음극 레이아웃을 독립적인 자기장 조향-, 프로그래밍 가능한 DC/펄스 바이어스 전원 공급 장치, 자동 진공 제어와 통합하여 일관된 필름 화학량론과 조밀한 미세 구조를 유지합니다.
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아크 증발 박막 시스템산업용 음극 아크 증발 박막 시스템은 조밀하고 접착력이 강한 금속, 합금 및 세라믹 화합물 코팅을 고속으로 증착하도록 설계되었습니다.{0}} 고체 음극 타겟에서 낮은-전압, 높은-전류 아크 방전을 통해 작동하는 이 시스템은 재료를 고도로 이온화된 플라즈마 상태(40% - 80% 금속 이온 비율)로 직접 기화합니다. 이는 활성 이온을 기판 인터페이스로...자세히 보기 -
![아크 증발 PVD 장비]()
아크 증발 PVD 장비산업용 음극 아크 증발 PVD 시스템은 저{0}}전압, 고전류-전기 아크를 활용하여 진공 환경에서 고체 음극 타겟을 기화합니다. 이 메커니즘은 80%를 초과하는 금속 이온화율을 달성하여 열 증발 또는 표준 마그네트론 스퍼터링에 비해 높은 화학적 결합 강도와 기판 접착력을 보장합니다.자세히 보기 -
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![아크 증발 증착 장비]()
아크 증발 증착 장비조밀하고 내마모성이 있는 기능성 하드 코팅의 고속-합성을 위해 설계된 산업용 물리 기상 증착(PVD) 플랫폼입니다. 고체 타겟 표면에 높은-전류, 낮은-전압 음극 아크 방전을 유지하면 80%에서 거의 100%에 가까운 이온화된 플라즈마 흐름이 생성됩니다.자세히 보기 -
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아크 증발 박막 장비이 음극 아크 증발 시스템은 저{0}}전압, 고전류-전기 아크를 통해 고체 음극 타겟을 기화시켜 완전히 이온화된 금속 플라즈마를 생성합니다. 표준 열 증발 또는 마그네트론 스퍼터링에 비해 이 PVD 공정은 기능성, 내마모성 및 장식용 하드 코팅에 맞게 더 높은 플라즈마 밀도와 우수한 필름-대-접착성을 제공합니다.자세히 보기
기술 사양
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매개변수 |
사양 범위 / 표준 구성 |
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챔버 치수 |
직경: 800mm - 1800mm(수직/수평 레이아웃 맞춤 설정 가능) |
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챔버 재료 |
내부 수냉식 채널이 있는 이중-SUS304 스테인리스 스틸- |
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궁극적인 진공 압력 |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
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음극 구성 |
전자기 조종 기능이 있는 직사각형/원형 아크 소스 4~12개 |
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아크 전원 공급 장치 |
300A - 500조정 가능한 정전류, 리플<= 2% |
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기판 바이어스 전력 |
0~-1000V 조정 가능, 펄스 바이어스 주파수 10kHz - 100kHz |
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난방 시스템 |
복사 히터 배열, 최대 온도 600도 +/- 5도 균일성 |
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공작물 회전 |
자성유체 피드스루에 의해 구동되는 유성 또는 이중{0}}축 회전 |
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제어 시스템 |
PLC + 산업용 PC, 레시피- 기반 자동 시퀀스 제어 |
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유틸리티 요구 사항 |
냉각수: 0.25-0.35 MPa, 20-25도; 전원: 380V/480V, 3상, 50/60Hz |
아크 증발 공정
증착 사이클은 필름 무결성과 인터페이스 접착력을 보장하기 위해 엄격한 절차적 제어에 따라 작동합니다.
대피 및 가스 배출:
진공 챔버는 기본 압력까지 펌핑됩니다. 표면의 휘발성 물질과 잔류 수분을 제거하기 위해 기판을 진공 상태에서 가열합니다.
01
플라즈마 에칭(세정):
금속 이온 충격(티타늄 또는 크롬 타겟 소스 사용)은 원자 수준에서 기판 표면을 세척하여 자연 산화물을 제거하고 인터페이스를 활성화합니다.
02
반응성 증착:
반응성 가스(N2, CH4, O2)는 질량 흐름 제어기(MFC)를 통해 챔버에 주입되어 금속 플라즈마 플럭스(예: Ti, Cr, AlTi)와 반응하여 TiN, TiAlN 또는 CrN과 같은 화합물 막을 형성합니다.
03
냉각 및 환기:
증착 후 냉각은 챔버 환기 및 부품 회수 전에 보호용 불활성 가스 환경에서 발생합니다.
04
지원되는 음극 타겟
티타늄(Ti) 및 티타늄 알루미늄(TiAl):표준 TiN 및 높은-산화 저항성- TiAlN 코팅용 기본 재료(최대 900도 산화 저항)
크롬(Cr):장식 마감재 및 내부식-CrN/CrC 층에 사용됩니다.
지르코늄(Zr) 및 티타늄 실리콘(TiSi):특수 장식 및 내마모성이 매우 뛰어난{0}}나노복합체 필름에 적용됩니다.
호환 가능한 기판 재료
고속-강(HSS):트위스트 드릴, 엔드밀, 호브 및 브로치.
초경합금(WC-Co):인덱서블 인서트, 리머 및 성형 다이.
엔지니어링 철강 및 합금:자동차 밸브 부품, 기어, 스테인레스 스틸 위생 하드웨어 및 티타늄 의료용 임플란트.
애플리케이션 및 성능 영향
금속 절단 도구:
초경 인서트 및 엔드밀에 TiAlN 및 AlCrN 코팅을 증착하여 공구 수명을 200%~300% 연장하고 건식 고속 가공을{2}}가능하게 합니다.
성형 및 스탬핑 다이:
조밀하고 저마찰 코팅을 적용하여 딥 드로잉 중에 접착제 마모, 흠집, 공작물 고착을 줄이고 가동 중지 시간을 최대 40%까지 줄입니다.
자동차 파워트레인:
경계 마찰 계수를 0.15 미만으로 최소화하고 긁힘 마모를 방지하기 위해 피스톤 링, 연료 분사 핀 및 태핏을 처리합니다.
산업용 하드웨어 및 위생 수도꼭지:
견고한 장식용 PVD 레이어(TiN 골드, 로즈 골드, 블랙 지르코늄)는 최소 500시간의 중성 염수 분무 테스트(ASTM B117)를 통과했습니다.
사용자 정의 및 프로세스 구성
장비 레이아웃은 생산량, 부품 형상 및 공장 설치 공간에 따라 확장됩니다.
챔버 기하학:
무거운 공구의 수직 적재 구조; 대용량 고정 장치 로딩을 위한 수평 배치 구성-
소스 통합:
음극 아크 소스와 불균형 마그네트론 스퍼터링(RMS) 음극을 결합하여 매끄럽고 물방울이 없는{0}} 다층 아키텍처를 증착하는 하이브리드 구성입니다.
여과 시스템:
광학 또는 초-정밀 기능성 코팅을 위한 매크로{0}}액적을 제거하기 위해 음극 채널에 설치된 선택적 자성 거대 입자 필터(조정 아크 필터)입니다.
자동화 인터페이스:
로봇식 로딩 암과 자동 가이드 차량(AGV) 배치 준비를 위한 통합{0} 준비가 완료되었습니다.
구조적 무결성:챔버 본체는 다음의 감도 임계값에서 헬륨 질량 분석계 누출 테스트를 거칩니다.<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
전기 안전 및 규정 준수:CE 및 IEC 전기 안전 지침에 따라 엄격하게 제작되었으며 전체 절연 테스트 및 비상 안전 인터록 기능을 갖추고 있습니다.
기능적 실행-오프(FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell 들여쓰기 HF1-HF2)는 배송 전에 표준 테스트 쿠폰에서 확인됩니다.
설치 및 기술 지원
현장 준비 패키지:
계약 후 4주 동안 냉각수 유량, 배기 환기, 바닥 부하 용량 및 전기 강하 사양을 자세히 설명하는 종합 유틸리티 레이아웃 도면이 제공됩니다.-
현장-시운전:
공장{0}}인증을 받은 프로세스 엔지니어는 고객 시설에서 기계 정렬, 진공 누출 감지, 전기 통합 및 초기 기준 레시피 설정을 처리합니다.
프로세스 레시피 전송:
납품에는 표준 기본 레시피(TiN, TiAlN, CrN)와 내부 유지 관리 및 엔지니어링 팀을 위한 운영 교육이 포함됩니다.
원격 진단 지원:
원격 매개변수 문제 해결 및 PLC 논리 진단을 위한 보안 산업용 라우터 게이트웨이가 장착된 시스템입니다.
FAQ
우리는-중국 최고의 아크 증발 박막 장비 제조업체 및 공급업체 중 하나로 잘 알려져 있습니다. 중국에서 만든 맞춤형 아크 증발 박막 장비를 구입하려는 경우 공장에서 가격표를 받으십시오. 가격상담을 원하시면 연락주세요.
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