진공아크박막시스템

산업용 진공 아크 박막 시스템은 음극 아크 증발을 활용하여 조밀하고 접착력이 높은 금속, 합금 및 세라믹 박막을 증착합니다. 높은-전류, 낮은-전압 아크는 고체 음극 재료를 고도로 이온화된 플라즈마 스트림(40% - 80% 이온화율)으로 기화시켜 탁월한 필름-대-접착 강도와 높은 증착 속도를 보장합니다.

산업 생산 및 첨단 재료 연구를 위해 설계된 이 플랫폼은 TiN, TiAlN, CrN 및 DLC와 같은 산업 코팅을 위한 다중 음극 구성, 정밀 반응성 가스 관리 및 자동화된 공정 제어를 통합합니다.

높은 플라즈마 이온화:음극 아크 이온화(40% - 80%)는 조밀한 필름 핵형성을 촉진하여 원주형 미세 구조 결함을 제거합니다.

강화된 접착력:현장 -고에너지 이온 세정은 공구강에서 40N을 초과하는 임계 스크래치 하중(Lc)을 달성합니다(ASTM C1624 인증).

토로이드 자기 여과(옵션):플라즈마 궤적을 편향시켜 매크로-물방울을 포착 및 제거하여 결함이 없는-부드러운 나노-코팅을 생성합니다.

폐쇄-루프 반응 제어:질량 흐름 컨트롤러(MFC)는 화학양론적 화합물 증착을 위해 N2, O2, C2H2 및 Ar을 정밀하게 조절합니다.

신속한 유지 관리:퀵 릴리스 음극 어셈블리를 사용하면 30분 이내에 타겟을 교체할 수 있습니다.

황삭 및 뿌리 제거 단계:10 Pa까지 빠르게 감소하기 위한 직접-구동 회전 날개 및 기계식 부스터 펌프.

고진공 단계:< 5 x 10^-4 Pa에 도달하는 액체 질소 콜드 트랩 또는 자기 부상 터보 분자 펌프(1600 L/s)를 갖춘 오일 확산 펌프.

게이지 및 인터록:자동 공압 게이트 밸브 및 PLC 인터록과 결합된 이중 피라니 및 냉음극 이온화 게이지.

Cathode Targets (Purity >= 99.95%):
궤조:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, Au

합금/화합물:TiAl, TiSi, CrAl, WC, 흑연(C)

기판 재료:
공구강:SKH51, M2, D2, 초경 인서트

합금:304/316L 스테인리스강, 인코넬, Ti-6Al-4V

도자기/유리:알루미나, 석영(표면 활성화 필요)

절단 및 성형 도구:드릴, 엔드밀 및 스탬핑 다이의 TiN, TiAlN 및 AlCrN 코팅(경도: 2500 - 3200 HV)

자동차 부품:피스톤 링과 연료 분사 핀에 저-마찰, 내마모{1}}코팅이 적용되었습니다.

장식용 하드웨어:소비자 하드웨어를 위한 기능성 금속 마감재(골드, 로즈 골드, 건메탈 블랙).

생체의학 임플란트:수술 및 치과 장비의 생체적합성 하드 코팅(ISO 10993 호환 프로필)

챔버 규모:대용량 배치를 위한 확장된 직사각형 또는 원통형 챔버-

하이브리드 구성:UBMS(불균형 마그네트론 스퍼터링)와 음극 아크 소스를 결합한 이중{0}}기술 통합입니다.

바이어스 모드:절연 또는 반도체 기판을 위한 RF 바이어스 통합.

데이터 통합:MES 연결을 위한 OPC UA/Modbus TCP 프로토콜.

ISO 9001 품질 관리 표준에 따라 실행:

헬륨 누출 감지:모든 용접부에 대한 질량 분석기 테스트(시스템 누출률<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s, ISO 3529 compliant).

전기 안전:CE / IEC 60204-1에 따라 절연 저항 및 접지 연속성 감사를 받았습니다.

기능 검증:72시간 연속 기계적 및 전기적 공회전.

공장 인수 테스트(FAT):클라이언트 테스트 쿠폰의 두께 균일성(+/- 5%) 및 접착 측정항목을 검증하는 시험 증착입니다.

시설 사전-점검:Complete utility blueprint detailing cooling water (>= 5m^3/h), 전력 용량 및 배기 장치.

현장-시운전:현장 엔지니어가 기계 배치, 유틸리티 연결 및 진공 인증을 감독합니다.

운영자 교육:일상적인 작동, 유지 관리, 타겟 교체 및 PLC 프로그래밍을 다루는 5-일 실습 프로그램입니다.

수명주기 서비스:안전한 VPN 원격 진단 및 48시간 중요 예비 부품 파견.