다중-아크 이온 박막 시스템

산업용 다중{0}}아크 이온 박막 시스템은 음극 아크 증발을 활용하여 금속 및 합금 기판에 조밀하고 접착력이 높은 세라믹 및 금속 코팅을 증착합니다.- 높은-전류, 낮은-전압 전기 아크를 통해 진공 환경에서 고체 음극 재료를 기화함으로써 시스템은 반응성 가스(예: 질소, 아세틸렌 또는 산소)와 상호 작용하는 금속 증기를 이온화하여 화학양론적 화합물 필름을 형성합니다.

지속적인 생산 환경을 위해 설계된 이 플랫폼은 정밀 절단 도구, 자동차 부품 및 내마모성 산업용 하드웨어의 일괄 처리를 위한 전용 공구 설비를 수용합니다.{0}}

자기-조향 아크 음극:폐쇄-루프 자기장은 대상 표면 전체에 음극 아크 지점 궤적을 안내하여 대상 활용률을 60% 이상으로 높이고 매크로{2}}액적 생성을 줄입니다.

급속 아크 억제 바이어스:고주파-펄스 바이어스 공급 장치에는 빠른 아크 소멸 회로가 통합되어 반응성 증착 중에 국소적인 마이크로{2}}아크가 기판 표면을 손상시키는 것을 방지합니다.

이중-모드 증착 아키텍처:시스템 아키텍처는 하이브리드 층 증착(예: 경사 층)을 위한 표준 아크 소스와 함께 불균형 마그네트론 스퍼터링(UMS) 음극의 신속한 통합을 지원합니다.

자동화된 공정 제어:산업용 PC와 쌍을 이루는 PLC는 레시피- 기반 제어 소프트웨어, 기록 챔버 압력, 가스 질량 유량(MFC), 기판 바이어스 및 아크 전류를 실시간으로 실행하여 배치 추적성을 제공합니다.

공압식 진공 밸브:공압 작동식 게이트 밸브와 앵글 밸브는 챔버 섹션을 격리하여 유지 관리 가동 중지 시간과 펌프{0}}사이클을 최소화합니다.

시스템 대피는 15분 이내에 작동 압력에 도달하도록 설계된 다단계 구성을 활용합니다.-

황삭 단계:이중-단계 회전 날개 기계식 펌프는 1차 대기 공기를 10Pa까지 제거합니다.

중급 단계:루츠 송풍기는 교차 압력 범위를 연결하기 위해 체적 변위를 가속화합니다.

고진공 단계:오일 확산 펌프 또는 극저온/분자 펌프는 가스 채우기 및 이온 세척 전에 5.0 x 10^-3 Pa의 최종 기본 압력을 달성합니다.

가스 전달 하위 시스템:다중-채널 질량 흐름 컨트롤러(MFC)는 +/- 1% 풀 스케일의 흐름 안정성 공차로 고순도- 공정 가스(Ar, N2, C2H2, O2)를 측정합니다.

음극 타겟
금속 타겟:Ti, Cr, Al, Zr, TiAl(50/50, 67/33 원자비), WC, 스테인레스 스틸.

순도 기준:>= 99.99% 진공 용해 및 압연.

기판 재료
공구강:H13, SKD11, M2, D2(코팅 증착 온도 이하에서 사전-처리 및 템퍼링).

탄화물:초경합금 텅스텐 카바이드(WC-Co).

엔지니어링 합금:티타늄 합금(TC4), 스테인리스강(304/316) 및 구리 합금(고정물에 따라 다름).

정밀 절단 도구:초경합금 텅스텐 엔드밀 및 호브에 TiAlN 및 AlCrN 코팅을 증착하면 3300 - 3500 HV의 표면 경도를 얻을 수 있습니다. 현장 검증 데이터에 따르면 고속 건식 가공 조건에서 공구 마모 수명이 2.5배 연장된- 것으로 나타났습니다.

금형 및 다이:H13 및 SKD11 플라스틱 사출 금형 및 스탬핑 다이의 표면 경화로 열 피로, 접착 마모 및 마모를 방지합니다.

자동차 부품:경계 마찰 계수를 0.1 미만으로 줄이기 위해 피스톤 링, 연료 인젝터 핀 및 밸브 리프터에 낮은-마찰, 내마모성 DLC(다이아몬드-카본) 및 CrN 코팅을 적용했습니다.

기능성 하드웨어:장식적이면서도 견고한 내마모성 마감재(TiCN, ZrN)로 산업용 위생 설비 및 고급{1}}기계 부품에 사용됩니다.

엔지니어링 구성은 시설 제약 및 구성요소 형상에 맞게 조정됩니다.

챔버 기하학:수직 피트-형 로딩 또는 수평 전면-로딩 도어 구성.

지그 설비:복잡한 3D 공작물 형상에 맞게 조정된 유성식, 단일{0}}회전 또는 맞춤형 위성 고정 장치입니다.

펌핑 스택 선택:클린룸 표준 및 펌프 가동 중지 시간 목표에 따라 오일 확산, 터보분자 또는 크라이오펌프 패키지에 대한 구성 옵션이 있습니다.

가스 및 전력 통합:지역 그리드 표준(예: 480V/60Hz, 415V/50Hz)을 위한 맞춤형 전기 변압기 및 클라이언트-측 중앙 집중식 배기 스크러빙 시스템과의 통합.

모든 증착 시스템은 배송 전에 엄격한 품질 검증을 거칩니다.

헬륨 누출 감지:모든 진공 챔버 및 용접 이음매에서 질량 분석계 헬륨 누출 테스트 수행(누설률<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

전기 안전 검증:CE/IEC 전기 표준을 준수하는 절연 저항, 접지 연속성 및 고전압 유전체 내력 테스트-.

기능적 드라이런:기계적 회전 메커니즘, 공압 밸브 및 냉각수 인터록 센서의 72시간 연속 건식 사이클링.

프로세스 승인 테스트:필름 두께 균일성, 경도 및 접착력을 확인하기 위해 제조 시설에서 샘플 코팅을 실행합니다(스크래치 테스트/로크웰 압입).

사이트 준비 지침:바닥 하중 요구 사항, 배기 덕트 위치, 물 매니폴드 치수 및 전기 낙하 지점을 자세히 설명하는 종합 시설 레이아웃 문서가 배송 4주 전에 배송됩니다.

시운전:현장 서비스 엔지니어가 현장 설치, -진공 교정, 전기 연결{1}}을 수행합니다.

프로세스 레시피 핸드오버:기본 코팅 레시피(TiN, TiAlN)는 공장 승인 또는 현장 시운전 중에 개발, 테스트 및 전송됩니다.-

예비 부품 및 진단:신속한 문제 해결을 위해 PLC에 통합된 원격 진단 모듈은 중요한 씰, 음극 타겟 및 차폐판의 현지 비축을 통해 지원됩니다.