다중-아크 이온 증착 시스템

The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >고체 음극 재료의 80% 이온화로 마그네트론 스퍼터링에 비해 우수한 필름 접착력을 위해 기판 인터페이스에 고에너지 이온 충격을-가동합니다.

이중-벽으로 둘러싸인 스테인레스-강 진공 챔버에는 모듈식 아크 소스와 PLC로 제어되는 자동 사이클 관리 펌프-, 현장 플라즈마 에칭, 반응성 가스 전달 및 다{5}}층 증착이 포함됩니다.

높은 이온화율:고밀도 이온 충격을 통해 필름 박리를 최소화합니다.

제어된 아크 안정성:프로그래밍 가능한 트리거 및 폐쇄{0}}루프 전류 조절은 거대 입자(액적) 형성을 억제하고 반응성 가스(N2, C2H2, O2) 하에서 표적 중독을 방지합니다.

모듈식 아크 소스:측면 및 도어 배치는 균일한 두께 분포를 위해 복잡한 3D 도구 형상에 맞게 조정됩니다.

펄스 기판 바이어스:동기화된 전압 펄스는 잔류 응력, 결정립 미세화 및 미세 경도를 조정합니다.

헤비-부하 교체 단계:유성 고정 장치는 높은 열 및 진공 부하에서 최대 500kg의 배치 부하를 지원합니다.

황삭 및 뿌리:루츠 송풍기와 결합된 다단계 건식 스크류 펌프는 전환 압력까지 탄화수소 오염을 방지합니다.

고진공:터보분자 또는 확산 펌프는 초-기본 압력을 유지합니다.

트래핑 및 측정:선택적인 액체 질소 콜드 트랩; 광범위한-범위의 피라니/냉음극 조합 게이지.

음극 타겟:순금속(Ti, Cr, Al, Zr, Mo, W) 및 합금 타겟(TiAl, TiSi, CrAl, WC-Co).

기판 재료:고속도강(HSS)-, 초경 인서트, 냉간/열간 공구강(SKD11, H13), 스테인리스강, 티타늄 합금.

사전-치료:수성 초음파 세척 후-현장 Ar+ 또는 금속 이온 충격 식각을 통해 자연 산화물을 제거합니다.

절단 도구:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >3000HV 표면 경도 및 내산화성.

금형 및 다이:마모 및 마모를 방지하기 위한 사출 금형 및 스탬핑 다이의 보호 층입니다.

자동차:마찰 계수를 낮추기 위해 피스톤 링, 기어, 인젝터 핀에 DLC 및 CrN 코팅을 적용했습니다.

의료 기기:수술 기구 및 임플란트의 생체적합성 TiN/TiCN 코팅.

챔버 크기 및 포트 레이아웃:맞춤형 볼륨 및 광학 방출 모니터링(OEM) 포트.

발전기:고객이-지정한 전원 공급 장치 브랜드 또는 특수 펄스-바이어스 구성.

여과법:제로-액적 광학/전자 마감을 위한 자기 조종 필드 및 거대입자 필터.

오토메이션:Industry 4.0 데이터 로깅을 위한 SCADA 통합 및 SQL 데이터베이스 연결.

누출 테스트:모든 용접부에 대한 헬륨 질량 분석기 테스트(<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).

전기 안전:CE/NFPA 표준에 따른 절연 저항, 접지 및 인터록 검증.

기능적 드라이런:72시간 연속 기계 및 밸브 사이클링 테스트.

프로세스 검증:나노압입 경도 및 스크래치 접착력에 대한 참조 쿠폰 테스트.

설치 전-:전력, 물, 배기 및 압축 공기에 대한 유틸리티 레이아웃 청사진이 제공됩니다.

시운전:공장 엔지니어가 감독하는 현장 설정 및 시운전.-

훈련:실습-운영, 음극 교체, 정기 유지보수 코칭.

수명주기 관리:안전한 VPN 원격 진단 및 로컬 예비 부품 프로비저닝.